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J-GLOBAL ID：200903062202653660
誘電体装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992152371
Publication number (International publication number)：1993343251
Application date： Jun. 11, 1992
Publication date： Dec. 24, 1993
Summary：
【要約】【目的】誘電体が2つの電極によって挟まれた構造を有する誘電体装置において、製造過程における熱処理工程あるいは経時変化による前記電極の酸化によるリテンション特性、膜疲労特性の劣化を防止して、装置の信頼性を向上させる。【構成】前記電極の少なくとも一方の電極が、耐酸化性に優れた白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ロジウム(Rh)、オスミウム(Os)、ルテニウム(Ru)の白金属の内2種類以上を含む合金を主成分とする。
Claim (excerpt)：
誘電体が2つの電極によって挟まれた構造を有する誘電体装置において、前記電極の少なくとも一方の電極が、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ロジウム(Rh)、オスミウム(Os)、ルテニウム(Ru)の白金属の内2種類以上を含む合金を主成分とすることを特徴とする誘電体装置。
IPC (6)：
H01G 1/01
, H01G 4/10
, H01G 4/12 415
, H01L 37/02
, G01J 1/02
, H01L 41/09
