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J-GLOBAL ID：200903062207644995

シリカ被膜形成用塗布液

Inventor： 山本 昌樹 ,  石田 英明
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997074022
Publication number (International publication number)：1998265736
Application date： Mar. 26, 1997
Publication date： Oct. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】 クラックのない厚膜で、しかも下地を良好な密着性で平坦化するシリカ被膜を形成する。【解決手段】(A)ハイドロトリアルコキシシランの縮合反応により得られる下記一般式(I)のハイドロジェンシロキサンポリマーと、【数1】(式中、R1,R2,R3はHまたはアルキル基)下記一般式(II)のテトラアルコキシシラン【数2】Si(OR4)4 (II)(式中、R4はC1〜4のアルキル基)とを反応させて得られるシロキサンポリマー、及び(B)沸点が100°C以上170°C以下の有機溶媒を必須成分とするシリカ被膜形成用塗布液。

Claim (excerpt)：

(A)ハイドロトリアルコキシシランの縮合反応により得られる下記一般式(I)のハイドロジェンシロキサンポリマーと、【数1】(式中、R1,R2,R3はHまたはアルキル基)下記一般式(II)のテトラアルコキシシラン【数2】Si(OR4)4 (II)(式中、R4はC1〜4のアルキル基)とを反応させて得られるシロキサンポリマー、及び(B)沸点が100°C以上170°C以下の有機溶媒を必須成分とするシリカ被膜形成用塗布液。