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J-GLOBAL ID：200903062270930264

微小機構部品の製造方法

Inventor： 小田 拓嗣 ,  小林 実 ,  太田 斎
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994267004
Publication number (International publication number)：1996127074
Application date： Oct. 31, 1994
Publication date： May. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】 3次元的に微細で複雑な形状を有するマイクロセンサやアクチュエータ、マイクロモールド型等の微小機構部品を高精度、かつ簡便に製造する。【構成】 基材6に高分子シート1を接着し、エキシマレーザで所望のパターンに除去加工する。高分子シート1接着、除去加工を繰り返し、図1(f)に示す積層方向に連通する空隙を有する多層構造を形成し、空隙部に導電導材11を充填して、微細な立体形状の機構部品を形成する。その後、高分子シート1、接着剤2を除去する。

Claim (excerpt)：

高分子シートを付着する工程、及びこの高分子シートを一部除去して所望の形状に形成する工程を繰り返し施し、基材表面に各層毎に所望の形状に形成された高分子シートが多層積層した構造物を形成し、上記高分子シートの除去により形成された空隙に上記高分子シートとは異なる機能材料を充填して立体構造物を形成する微小機構部品の製造方法。

IPC (2)：

B29C 67/00 ,  B29C 65/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 微小構造物製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-003349   Applicant：株式会社リコー
• シート積層造形方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-027397   Applicant：三洋機工株式会社
• 特開平2-212131