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J-GLOBAL ID：200903062275016951
対象物内の物質除去装置およびその方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
宇井 正一 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993218811
Publication number (International publication number)：1994196793
Application date： Sep. 02, 1993
Publication date： Jul. 15, 1994
Summary：
【要約】【目的】 対象物内の物質除去装置とその方法に関し、ピコ秒レンジのパルス存続期間を有する高エネルギーの単一レーザパルスを得ることを目的とする。【構成】 ピコ秒レンジのパルス存続期間を有するレーザパルスを発生する高出力レーザ、モードロック装置とQスイッチ装置を有する共振器、高出力レーザに従う周波数マルチプライア、周波数マルチプライアから入射されるレーザビームを対象物上に焦点づけるビームガイドを備える対象物内の物質除去装置において、共振器12は単一高エネルギーレーザパルスPを発生するに十分な反射終端ミラー14、16を有し、できるだけ高エネルギーの単一パルスを結合取り出しする制御装置32、34を共振器内に設け、制御部38はQスイッチによるレーザ活動から解放された後に単一パルスPを結合取り出しするよう設け、共振器を経由して繰り返し往復した後単一パルスを形成するよう構成する。
Claim (excerpt)：
ピコ秒レンジのパルス存続期間を有するレーザパルスを発生する高出力レーザ、モードロック装置とQスイッチ装置を有する共振器、前記高出力レーザに従う周波数マルチプライア、およびその周波数マルチプライアから入射されるレーザビームを対象物上に焦点づけるビームガイドとを備える前記対象物から物質を除去する物質除去装置において、前記共振器(12)は、単一高エネルギーレーザパルス(P)を発生するために十分な反射する終端ミラー(14、16)を有し、単一パルスを結合して取り出すよう制御する制御装置(32、34)が前記共振器(12)内に設けられ、制御部(38)は、前記Qスイッチによるレーザ活動から解放された後に単一パルス(P)を結合して取り出しするよう設けられ、かつ前記共振器(12)を経由して繰り返し往復した後に前記単一パルスを形成することを特徴とする対象物内の物質除去装置。
IPC (2)：
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