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J-GLOBAL ID：200903062296321940

レーザ媒質ガス交換方法、レーザ媒質ガス排出方法及びガスレーザ装置並びに露光装置

Inventor： 竹内 仁
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 志賀 正武 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999064113
Publication number (International publication number)：2000261068
Application date： Mar. 10, 1999
Publication date： Sep. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】 未使用のレーザ媒質ガスの汚染を抑制し、かつ、レーザの駆動効率を高めることの可能なレーザ媒質ガス交換方法及びそのような交換が可能なレーザガス装置、並びに、該ガスレーザ装置を用いた露光装置を提供すること。【解決手段】 放電チャンバ1内の圧力値をレーザ光発振時の設定圧力値の近傍又はそれ以上に制御しながら、放電チャンバ1内の使用済みのレーザ媒質ガスを放電チャンバ1から排出する。

Claim (excerpt)：

レーザ媒質ガス中で放電を行うことによりレーザ光を発振する放電チャンバにおいて、使用済みのレーザ媒質ガスの少なくとも一部をパージガス又は未使用のレーザ媒質ガスと交換するレーザ媒質ガス交換方法であって、前記放電チャンバ内の圧力値をレーザ光発振時の設定圧力値の近傍又はそれ以上に制御しながら前記放電チャンバ内の前記使用済みのレーザ媒質ガスを前記放電チャンバから排出する工程を含むことを特徴とするレーザ媒質ガス交換方法。

F-Term (4)：

5F071AA06 ,  5F071BB05 ,  5F071DD08 ,  5F071JJ02