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J-GLOBAL ID：200903062301900091

磁気記録媒体基板およびその粗面化方法

Inventor： 金子 英雄 ,  玉井 昇 ,  中里 泰章
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994057076
Publication number (International publication number)：1995272267
Application date： Mar. 28, 1994
Publication date： Oct. 20, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】情報記録媒体として有用な磁気記録媒体の高記録密度化方法に関するもので、シリコン基板の表面に異方性エッチングを施して基板表面を粗面化し、磁気記録媒体と磁気ヘッドの吸着を防止して真実接触面積を低減してCSS特性を改善する。【構成】シリコンを用いた磁気記録媒体基板を異方性エッチング液を用いてエッチングすることにより該基板表面を粗面化することを特徴とする磁気記録媒体基板の粗面化方法にあり、更に詳しくは、異方性エッチング液がアルカリ性水溶液で、水酸化ナトリウムおよび/または水酸化カリウムを含む溶液であり、その濃度を 0.5重量%以上3重量%以下とすること、および粗面化した部位のRmaxが0.1 μm以下0.005 μm以上であり、かつシリコン基板が単結晶である磁気記録媒体基板にある。

Claim (excerpt)：

シリコンを用いた磁気記録媒体基板を異方性エッチング液を用いてエッチングすることにより該基板表面を粗面化することを特徴とする磁気記録媒体基板の粗面化方法。

IPC (2)：

G11B 5/84 ,  G11B 5/82

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 磁気記録媒体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-073707   Applicant：信越化学工業株式会社
• 特開平4-259908
  
• 特開昭53-057144