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J-GLOBAL ID：200903062316153896

外観検査用照明装置

Inventor： 武田 守
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994217899
Publication number (International publication number)：1996061928
Application date： Aug. 19, 1994
Publication date： Mar. 08, 1996
Summary：

【要約】【目的】 被検査物から最適な反射光を得るための外観検査用照明装置を提供すること。【構成】 本発明は外観検査用照明装置1は、被検査物である例えば半導体装置10の検査面に対して略垂直に配置される筒状拡散部2と、筒状拡散部2の筒外に配置され筒状拡散部2に光を照射する照射手段であるリング状光源3とを備えており、リング状光源3から照射する光を筒状拡散部2を介して拡散させ、その拡散光を筒状拡散部2の筒内21から半導体装置10へ当てて反射光を得るようにするものである。

Claim (excerpt)：

被検査物の外観を検査するにあたり、該被検査物へ光を当ててその反射光を得るための外観検査用照明装置であって、前記被検査物の検査面に対して略垂直に配置される筒状拡散手段と、前記筒状拡散手段の筒外に配置され該筒状拡散手段へ光を照射するための照射手段とを備え、前記照射手段から照射する光を前記筒状拡散手段を介して拡散させ、その拡散光を該筒状拡散手段の筒内から前記被検査物へ当てて反射光を得ることを特徴とする外観検査用照明装置。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 光学計測器の照明装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-326813   Applicant：アストロデザイン株式会社
• 特開平4-301750