終点検出装置、終点検出方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：吉田茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998205357
Publication number (International publication number)：2000033562
Application date： Jul. 21, 1998
Publication date： Feb. 02, 2000
Summary：

【要約】【課題】薄膜加工時の終点を確実に検出することが可能な終点検出装置および終点検出方法を提供する。【解決手段】研磨加工などの薄膜加工が所定の程度にまで進んだ後に、対象物を特定の単一波長(図8においては600nm)の光で照明し、その反射光を受光して測定反射率を求める。測定された測定反射率と、あらかじめ求めた加工終了時における基準反射率とが一致し(両者の差R=0)、かつ、測定時における測定反射率の時間的変化傾向が加工終了時における基準反射率の時間的変化傾向と一致(時間微分dR/dt=0)した際に加工が終点に到達した(t=100)と判断する。このように反射率(実線グラフ)だけでなく、反射率の時間的変化傾向(点線グラフ)についても考慮して終点を判定するので、本来の加工終了時点以前の時点(t=80)において生じる誤判定を防止し、確実に終点を検出できる。

Claim (excerpt)：

所定の母材の表面上に薄膜が形成される対象物につき、前記薄膜の膜厚変化を伴う加工の終点を検出する終点検出装置であって、前記対象物を照明する照明手段と、前記対象物からの反射光を受光することにより特定の単一波長における前記対象物の反射率を測定する反射率測定手段と、前記対象物についてあらかじめ求めた反射率である基準反射率と前記測定された反射率である測定反射率とに基づいて、前記加工が終点に到達したことを示す終点信号を出力する終点判定手段と、を備え、前記終点判定手段は、前記測定反射率が加工終了時における前記基準反射率と一致し、かつ、前記測定反射率の時間的変化傾向が加工終了時における前記基準反射率の時間的変化傾向と一致した際に前記終点信号を出力する、ことを特徴とする終点検出装置。

IPC (4)：

B24B 37/04 , G01B 11/06 , H01L 21/304 622 , H01L 21/66

FI (4)：

B24B 37/04 K , G01B 11/06 Z , H01L 21/304 622 S , H01L 21/66 P

F-Term (34)：

2F065AA30 , 2F065BB17 , 2F065CC17 , 2F065CC31 , 2F065DD03 , 2F065FF41 , 2F065GG02 , 2F065GG06 , 2F065GG22 , 2F065HH04 , 2F065JJ18 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL22 , 2F065QQ03 , 2F065QQ30 , 2F065RR06 , 2F065SS03 , 2F065SS13 , 3C058AA07 , 3C058AC02 , 3C058BA01 , 3C058CB01 , 3C058DA17 , 4M106AA01 , 4M106AA09 , 4M106BA04 , 4M106CA19 , 4M106CA48 , 4M106CA57 , 4M106DH12 , 4M106DJ13 , 4M106DJ17 , 4M106DJ20

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