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J-GLOBAL ID:200903062338143630
垂直磁気記録媒体用ディスク基板、垂直磁気記録ディスク、並びにそれらの製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
阿仁屋 節雄
, 油井 透
, 清野 仁
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003010921
Publication number (International publication number):2004227618
Application date: Jan. 20, 2003
Publication date: Aug. 12, 2004
Summary:
【課題】安価で、かつ安定した高記録密度の垂直磁気記録ディスクを得ることのできるディスク基板、及びこのディスク基板から製造した垂直磁気記録ディスクを提供する。【解決手段】まず、化学強化ガラスディスクからなる平滑な非磁性のディスク基体11上に、DCマグネトロンスパッタリング法にて、Ti層を含む付着層12、アモルファスFeTaC層を含む軟磁性層13、非磁性アモルファスカーボン層を含む保護層14を順次成膜して、垂直磁気記録媒体用ディスク基板10を製造し、次に、この垂直磁気記録媒体用ディスク基板10を加熱し、さらに、DCマグネトロンスパッタリング法にて、アモルファスのNiTaを含む下地層、CoCrPt合金合金を含む垂直磁気記録層、水素化カーボンを含む媒体保護層を順次成膜して、垂直磁気記録ディスクを得る。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
垂直磁気記録媒体用ディスク基板を構成するディスク基体上に、軟磁性層と保護層とを備えることを特徴とする垂直磁気記録媒体用ディスク基板。
IPC (6):
G11B5/72
, G11B5/65
, G11B5/667
, G11B5/73
, G11B5/84
, G11B5/851
FI (7):
G11B5/72
, G11B5/65
, G11B5/667
, G11B5/73
, G11B5/84 A
, G11B5/84 B
, G11B5/851
F-Term (15):
5D006AA02
, 5D006AA05
, 5D006BB07
, 5D006CA03
, 5D006CB04
, 5D006CB07
, 5D112AA02
, 5D112AA03
, 5D112AA07
, 5D112BA03
, 5D112BC05
, 5D112BD03
, 5D112FA04
, 5D112GA09
, 5D112GB01
Patent cited by the Patent: