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J-GLOBAL ID：200903062342998101
表面反射鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
野田 茂
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992110831
Publication number (International publication number)：1993281405
Application date： Apr. 03, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：
【要約】【構成】 樹脂基板の表面上に形成された二酸化ケイ素からなる下地層と、前記下地層上に形成されたアルミニウムからなる反射層と、前記反射層上に形成された二酸化ケイ素からなる第1保護層と、前記第1保護層上に形成された、酸化チタン、酸化タンタルおよび酸化ジルコニウムから選択される少なくとも一種の材料からなる第2保護層と、前記第2保護層上に形成された酸化アルミニウムからなる第3保護層とを有する表面反射鏡。【効果】 基板に対して圧縮応力を及ぼす二酸化ケイ素からなる下地層を用いているため、高温高湿雰囲気下に放置した場合でも樹脂基板と膜構造との間に点状欠陥が発生することがない。
Claim (excerpt)：
樹脂基板の表面上に形成された二酸化ケイ素からなる下地層と、前記下地層上に形成されたアルミニウムからなる反射層と、前記反射層上に形成された二酸化ケイ素からなる第1保護層と、前記第1保護層上に形成され、酸化チタン、酸化タンタルおよび酸化ジルコニウムから選択される少なくとも一種の材料からなる第2保護層と、前記第2保護層上に形成された酸化アルミニウムからなる第3保護層と、を有することを特徴とする表面反射鏡。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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