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J-GLOBAL ID：200903062343843004

ポジ型感放射線性樹脂組成物

Inventor： 梶田 徹 ,  小林 英一 ,  大田 利幸 ,  三浦 孝夫 ,  村田 誠
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992244794
Publication number (International publication number)：1994095389
Application date： Sep. 14, 1992
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 体積収縮の小さい化学増幅系ポジ型レジストを提供する。【構成】 放射線の照射により酸を発生する化合物(酸発生剤)と酸により遊離しうる置換基を含有する有機物を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物。【効果】本発明のポジ型感放射線性樹脂組成物は、遠紫外線以下の波長の放射線照射にも好適に使用され、従来のポジ型化学増幅系レジストで問題であったパターン形成時のレジスト膜の体積収縮の問題を解決し、パターン形状および寸法の制御性に優れている。

Claim (excerpt)：

(1)放射線の照射により酸を発生する化合物、(2)アルカリ可溶性樹脂、および(3)芳香環の少なくとも1つに結合した下記一般式(1)【化1】で示される置換基を有するアルカリ溶解性制御化合物、を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027