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J-GLOBAL ID：200903062352943283
干渉計装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
川野 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002192619
Publication number (International publication number)：2004037165
Application date： Jul. 01, 2002
Publication date： Feb. 05, 2004
Summary：
【目的】波長の変調は、撮像素子の1光蓄積期間に亘り積分された各波長の光が非被検面からの干渉縞ノイズを抑制し得る所定の光強度となるように制御することで、被検面についての干渉縞のコントラストは良好とし、かつ非被検面についての干渉縞は抑制し得る、高精度かつ安価な干渉計装置を得る。【構成】干渉計装置1において以下の特徴点を有している。(1)半導体レーザ光源11の注入電流を時間軸に対し矩形波信号(CCDの1光蓄積期間に対して十分に短い周期を有する)を用いて変調することで2種類の波長の光が交互に出力されるように切り替える。(2)CCDの1光蓄積期間において積分された2種類の波長の光の強度が互いに略等しくなるようにファンクション・ジェネレータ23からの矩形波信号のデューティー比が調整されている。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
単一縦モードのレーザ光を発振する波長走査が可能な光源を用い、透明な被検体の非被検面からの干渉縞ノイズを抑制する干渉計装置において、
干渉縞を受光する素子の1光蓄積期間に対し十分短い周期で、前記光源からのレーザ光を複数の波長に変調し、
該複数の波長に変調されたレーザ光を用いて前記被検体からの物体光と前記干渉計装置の基準面からの参照光により生成される干渉光を前記素子により受光して、該干渉光を前記1光蓄積期間で積分するように構成し、
前記複数の波長の変調は、前記1光蓄積期間で積分された各波長の光が前記被検体の非被検面からの干渉縞ノイズを抑制し得る所定の光強度となるように、該各波長に対する変調期間が設定されていることを特徴とする干渉計装置。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (12)：
2F064CC02
, 2F064CC03
, 2F064EE05
, 2F064FF02
, 2F064FF08
, 2F064GG22
, 2F064GG44
, 2F064GG52
, 2F064GG55
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064JJ00
Cited by applicant (1)
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透明平行平板の干渉縞解析方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2001-254860
Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所
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