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J-GLOBAL ID：200903062359158042

フッ化物の精製方法及びフッ化物結晶の製造方法、並びに光学部品及びそれを用いた露光装置

Inventor：
大場 点

About 大場 点


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 福森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999296019
Publication number (International publication number)：2000191322
Application date： Oct. 18, 1999
Publication date： Jul. 11, 2000
Summary：
【要約】【課題】 汎用性に富み、製造コストが低く抑えられるフッ化物の精製方法及びフッ化物結晶の製造方法を提供することにあり、短波長で高出力の光を長期間繰り返し照射した場合であっても、透過率特性が劣化し難いフッ化物結晶、光学部品及び露光装置を安価に提供すること。【解決手段】 固体スカベンジャーが添加されたフッ化物原料を融解する為に加熱する加熱工程と、融解したフッ化物原料を固化する為に冷却する冷却工程と、を含むフッ化物の精製方法において、前記加熱工程の途中で、フッ化物原料が収容された室の環境を、該環境より前記室内のガスが該室外に放出され易い環境に変えることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
固体スカベンジャーが添加されたフッ化物原料を融解する為に加熱する加熱工程と、融解したフッ化物原料を固化する為に冷却する冷却工程と、を含むフッ化物の精製方法において、前記加熱工程の途中で、フッ化物原料が収容された室の環境を、該環境より前記室内のガスが該室外に放出され易い環境に変えることを特徴とするフッ化物の精製方法。
IPC (5)：
C01F 11/22 ,  C01B 9/08 ,  C01F 5/28 ,  C30B 29/12 ,  G02B 1/02
FI (5)：
C01F 11/22 ,  C01B 9/08 ,  C01F 5/28 ,  C30B 29/12 ,  G02B 1/02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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