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J-GLOBAL ID：200903062371915576

プラズマ発生電極及びプラズマ反応器

Inventor： 宮入 由紀夫 ,  藤岡 靖昌 ,  桝田 昌明 ,  佐久間 健 ,  波多野 達彦 ,  佐藤 祥弘 ,  鈴木 純一
Applicant, Patent owner： 日本碍子株式会社 ,  本田技研工業株式会社
Agent (1)： 渡邉 一平
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2004009014
Publication number (International publication number)：WO2005001250
Application date： Jun. 25, 2004
Publication date： Jan. 06, 2005
Summary：

本発明のプラズマ発生電極は、一対の単位電極2のそれぞれが、板状のセラミック体19と、前記セラミック体の内部に配設された導電膜12から形成されるとともにそれぞれの一の表面に複数の突条13を有し、その一対の単位電極2が、突条13の配設方向の両端が開放された複数の空間を形成した状態で突条13の厚さに相当する間隔を隔てて階層的に積層されて一つの基本ユニット1を構成し、さらに基本ユニット1の複数が、突条13の厚さに相当する間隔を隔てて階層的に積層された電極ユニットを構成し、電極ユニットを構成する単位電極2間に電圧を印加することによって、立体的に配列された空間V内にプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極である。このため、均一かつ安定なプラズマを発生させることが可能であるとともに、耐熱性に優れている。

Claim (excerpt)：

少なくとも一対の単位電極が所定間隔を隔てて配設されてなり、これらの単位電極間に電圧を印加することによってプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極であって、 前記一対の単位電極のそれぞれが、誘電体となる板状のセラミック体と、前記セラミック体の内部に配設された導電膜から形成されるとともに、それぞれの一の表面に、所定パターンで配設された所定厚さの複数の突条を有し、 前記一対の単位電極のうちの一方の単位電極(下側単位電極)の、前記一の表面及びそこに配設された前記突条の表面と、他方の単位電極(上側単位電極)の裏面とによって、前記突条の配設方向の両端が開放された複数の空間を形成した状態で、前記一対の単位電極(上側単位電極及び下側単位電極)が、前記突条の厚さに相当する間隔を隔てて階層的に積層されて、一つの基本ユニットを構成し、さらに、 前記基本ユニットの複数が、階層的に積層されて、前記突条の厚さに相当する間隔を隔てるとともに、前記単位電極及び前記空間が立体的に配列された電極ユニットを構成し、 前記電極ユニットを構成する前記単位電極間に電圧を印加することによって、立体的に配列された前記空間内にプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極。

IPC (5)：

F01N 3/08 ,  F01N 3/02 ,  B01D 53/56 ,  B01D 53/74 ,  B01J 19/08

FI (4)：

F01N3/08 C ,  F01N3/02 301F ,  B01D53/34 129C ,  B01J19/08 E

F-Term (20)：

3G090AA06 ,  3G091AB14 ,  3G091BA14 ,  3G091BA15 ,  3G091BA19 ,  3G091BA39 ,  4D002AA12 ,  4D002AC02 ,  4D002BA09 ,  4D002DA70 ,  4G075AA03 ,  4G075AA37 ,  4G075BA05 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EB42 ,  4G075EE34 ,  4G075FB02 ,  4G075FC15