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J-GLOBAL ID：200903062387617729
熱電材料の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
北村 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996153599
Publication number (International publication number)：1998004220
Application date： Jun. 14, 1996
Publication date： Jan. 06, 1998
Summary：
【要約】【課題】熱電変換特性であるseebeck係数、導電率、パワーファクターが大きく、かつ安定性に優れた熱電材料の製造方法を提供する。【解決手段】Se,Bi,Te,Sbより選ばれる2種以上の成分を含む複合材料をレーザーアブレーション法により基板上に膜形成したのち、アニーリングすることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
成膜室内に基板、前記基板に対向して配設された2種以上の成分を所定の組成比を含有するターゲットを設置し、真空状態にて前記ターゲットにレーザー光を照射して前記ターゲットよりプルームを発生させて前記基板上に蒸着させるレーザーアブレーション法により前記基板上に複合材料である熱電材料を形成する方法であって、レーザーアブレーション法により形成された複合材料をアニーリングすることを特徴とする熱電材料の製造方法。
IPC (4)：
H01L 35/34
, C23C 14/28
, H01L 35/14
, H01L 21/324
H01L 35/34
, C23C 14/28
, H01L 35/14
, H01L 21/324 Z
