Pat

J-GLOBAL ID：200903062403996891

ZnS-SiO2系焼結体およびその製造方法

Inventor： 高梨 昌二
Applicant, Patent owner： 住友金属鉱山株式会社
Agent (1)： 鴨田 朝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998222181
Publication number (International publication number)：2000053468
Application date： Aug. 05, 1998
Publication date： Feb. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】 良好で安定な膜特性の膜が得られ、割れが発生しないZnS-SiO2 系焼結体およびその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明の焼結体は、(1)X線回折によるβ-ZnS相(111)面のピーク強度とα-ZnS相(100)面のピーク強度との比が1.0以上、かつ(2)Zn含有量とS含有量との原子比が厚さ方向に一様に0.97〜1.03であることを特徴とする。また、本発明の製造方法は、(1)遊離SがSO4 成分として0.8重量%以下で平均粒径が5μm以下のZnS粉末、および平均粒径が5μm以上のSiO2 粉末を原料粉末に用い、(2)1100°C以下の焼結温度で焼結を行うことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

(a)SiO2 を10〜30モル%含み、残部がZnSおよび不可避不純物であり、(b)相対密度が90%以上である焼結体において、(1)X線回折によるβ-ZnS相(111)面のピーク強度とα-ZnS相(100)面のピーク強度との比が1.0以上、かつ(2)Zn含有量とS含有量との原子比が、厚さ方向に一様に0.97〜1.03であることを特徴とするZnS-SiO2 系焼結体。

IPC (2)：

C04B 35/547 ,  C23C 14/34

FI (2)：

C04B 35/00 T ,  C23C 14/34 T

F-Term (13)：

4G030AA37 ,  4G030AA56 ,  4G030BA19 ,  4G030BA33 ,  4G030CA01 ,  4G030GA11 ,  4G030GA27 ,  4G030GA29 ,  4K029BC01 ,  4K029BC02 ,  4K029BD12 ,  4K029CA05 ,  4K029DB05