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J-GLOBAL ID：200903062416477222

表面状態検査装置

Inventor： 田中 一基 ,  池田 浩志 ,  新原 良美
Applicant, Patent owner： マツダ株式会社
Agent (1)： 柳田 征史 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992015883
Publication number (International publication number)：1993209732
Application date： Jan. 31, 1992
Publication date： Aug. 20, 1993
Summary：

【要約】【目的】 輝度が漸変的に変化する明暗光を用いた表面状態検査装置において、被検査面領域と背景領域との境界を検出して検査精度の向上を図る。【構成】 輝度が一方向に沿って漸変的に変化する明暗光を被検査面に照射し、該被検査面から反射された反射光を受光して受光画像36を形成し、該受光画像36における輝度変化に基づいて上記被検査面の表面状態を検査する表面状態検査装置であって、境界検出手段を備え、該境界検出手段により、上記受光画像36中における被検査面領域44のうち背景領域46の輝度との差が大きい輝度を有する顕在被検査面領域44a を検出し、該顕在被検査面領域44a に関する位置情報に基づいて、上記被検査面領域44のうち背景領域46の輝度との差が小さい輝度を有する潜在被検査面領域44b と上記背景領域との境界qを検出する。

Claim (excerpt)：

輝度が一方向に沿って漸変的に変化する明暗光を被検査面に照射し、該被検査面から反射された反射光を受光して受光画像を形成し、該受光画像における輝度変化に基づいて上記被検査面の表面状態を検査する表面状態検査装置であって、上記受光画像中における被検査面領域のうち背景領域の輝度との差が大きい輝度を有する顕在被検査面領域を検出し、該顕在被検査面領域に関する位置情報に基づいて、上記被検査面領域のうち背景領域の輝度との差が小さい輝度を有する潜在被検査面領域と上記背景領域との境界を検出する境界検出手段を備えていることを特徴とする表面状態検査装置。

IPC (3)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G06F 15/62 400

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭56-166683
  
• 特開昭57-132195
  
• 特開昭58-175379