漏れ検査システム

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：野村茂樹 , 富澤孝 , 山中郁生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004107467
Publication number (International publication number)：2005291924
Application date： Mar. 31, 2004
Publication date： Oct. 20, 2005
Summary：

【課題】短時間で高精度に漏れ検査を行うことができる漏れ検査システムを提供すること。【解決手段】漏れ検査システム1において、ワーク6内に流体を充填するレギュレータ2と、レギュレータ2からワーク6に流れる流体の流量を測定する流量センサ10と、流量センサ10をバイパスさせて流体をワーク6へ供給するバイパス配管91と、バイパス配管91に設けられた開閉弁4と、流量センサ10により測定される流量値が予め設定された閾値を越えて、その後閾値を下回ったときに、開閉弁4を閉状態にするコントローラ7とを設ける。そして、コントローラ7により、開閉弁4が閉じられて流量センサ10の出力値が安定したとこるで、流量センサ10からの出力値に基づいてワーク6の漏れ判定を行う。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ワークに流体を充填して前記ワークの漏れ検査を行う漏れ検査システムにおいて、前記ワーク内に流体を充填する充填手段と、前記充填手段から前記ワークに流れる流体の流量を測定する流量センサと、前記流量センサをバイパスさせて流体を前記ワークへ供給するバイパス配管と、前記バイパス配管に設けられた開閉弁と、前記流量センサにより測定される流量値が予め設定された閾値を越えて、その後前記閾値を下回ったときに、前記開閉弁を閉状態にする開閉弁制御手段と、前記流量センサからの出力値に基づいて前記ワークの漏れ判定を行う判定手段と、を有することを特徴とする漏れ検査システム。

IPC (3)：

G01M3/26 , G01F1/00 , G01F1/684

FI (3)：

G01M3/26 L , G01F1/00 T , G01F1/68 101A

F-Term (9)：

2F030CB02 , 2F030CF05 , 2F030CF08 , 2F030CF09 , 2F030CF10 , 2F035EA08 , 2G067BB02 , 2G067CC04 , 2G067DD04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

エアリークテスト方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-238102 Applicant：株式会社フクダ
熱式流量計
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-395007 Applicant：シーケーディ株式会社

Cited by examiner (5)

膜ろ過装置の膜破損検出装置及び検出方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-018595 Applicant：株式会社東芝
熱式流量計
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-395007 Applicant：シーケーディ株式会社
特開平3-077042

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