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J-GLOBAL ID:200903062446360192

照明光学系およびそれを用いた顕微鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994013543
Publication number (International publication number):1995146400
Application date: Feb. 07, 1994
Publication date: Jun. 06, 1995
Summary:
【要約】【目的】 大きな開口数の対物レンズに適応し得る分光機能を具える照明光学系と、それを用いて光源からの光の有効利用と高い解像力とを両立し得るようにした顕微鏡とを提供する。【構成】 光源11からのビーム12をゾーンプレート13に入射して収束させて点光源(2次光源)を形成し、その点光源からのビーム12を斜入射鏡コンデンサ14によって試料18に照射する際に、ゾーンプレート3の収束点にピンホール5を有する遮光板6を設けてビーム2を分光して単色化する。試料18を通過した光を対物レンズ(ゾーンプレート19)により光検出器20上に結像する。その際、各構成要素の光軸上の配置を所定の式により決定する。
Claim (excerpt):
光源と、前記光源からの光を集光して点光源を形成するゾーンプレートと、前記ゾーンプレートにより形成される点光源の直後に設けられたピンホールと、前記ピンホールを通過した光を試料に照射する斜入射鏡とを具えて成ることを特徴とする照明光学系。

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