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J-GLOBAL ID：200903062469179223

電子線描画装置

Inventor： 飯泉 謙 ,  冨吉 力生 ,  森村 利幸
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999352738
Publication number (International publication number)：2001168014
Application date： Dec. 13, 1999
Publication date： Jun. 22, 2001
Summary：

【要約】【課題】本発明は、複数段の偏向器を有する電子線描画装置において、該偏向器に重畳する有害なノイズを排除して高精度な描画およびマーク検出を実現することにある。【解決手段】複数段の夫々の偏向器に重畳するノイズによるビームの揺らぎを測定評価し、有害なノイズの重畳する任意の偏向器の偏向データを強制的に無効として切り離し、ノイズによるビームの揺らぎを低減して描画およびマーク検出を行う。

Claim (excerpt)：

電子線を発生させる電子線源と、この電子線源からの電子線を試料の試料面上に投射してパターンを描画する電子光学手段と、前記電子線を前記試料面上に走査させるときの偏向領域、および偏向感度の異なる複数段の偏向器と、この偏向器を制御する電子線偏向制御手段と、前記電子線が前記試料面上に投射されて発生する反射電子または二次電子を検出する検出器と、この検出器からの検出信号を演算処理する信号処理手段と、前記試料を載置し前記電子光学手段に対して移動させるステージを制御するステージ制御手段と、前記試料面上に描画するパターンのパターンデータに基づいて描画制御を行うデータ制御手段と、前記電子光学手段、偏向制御手段、信号処理手段、ステージ制御手段、及びデータ制御手段を一括制御する制御計算機とからなる電子線描画装置において、前記複数段の偏向器の任意の偏向器の偏向データを強制的に無効にし、当該偏向器とそれを駆動するアンプ及び制御回路から電気的に切り離す手段を持つことを特徴とした電子線描画装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/305

FI (6)：

G03F 7/20 504 ,  H01J 37/147 C ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 E ,  H01L 21/30 541 B ,  H01L 21/30 541 K

F-Term (11)：

2H097AA03 ,  2H097CA16 ,  2H097KA18 ,  2H097LA10 ,  5C033GG03 ,  5C034BB04 ,  5F056BB01 ,  5F056BC06 ,  5F056BD05 ,  5F056CB16 ,  5F056EA06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• マーク位置検出方法およびその方法を用いた電子ビーム描画装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-042798   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開昭61-095520