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J-GLOBAL ID：200903062485181440

画像データの管理方法および画像データのサービスシステム

Inventor： 中垣 亮 ,  高木 裕治 ,  二宮 隆典 ,  杉本 有俊 ,  諫早 公二 ,  官野 淳二郎 ,  田辺 徹 ,  金森 順
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ
Agent (2)： 小川 勝男 ,  田中 恭助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003205920
Publication number (International publication number)：2005056907
Application date： Aug. 05, 2003
Publication date： Mar. 03, 2005
Summary：

【課題】迅速な対応による半導体デバイスメーカの顧客に対する信頼の維持を可能にした画像データの管理方法および画像データのサービスシステムを提供することにある。【解決手段】製造部門20の少なくともレビュー装置及びCD-SEMから通信手段30を介して送信してくる欠陥若しくは欠陥候補の画像とその画像の特徴量(以下欠陥等)とを少なくとも半導体デバイスIDを付与して蓄積して保存する記憶装置部42と、通信手段を介して問い合わせのある少なくとも半導体デバイスIDに対応する欠陥等を基に前記半導体デバイスIDに関連する半導体デバイスに対応する欠陥等を検索する検索エンジン43とを備え、該検索エンジンにて検索された関連する半導体デバイスに対応する欠陥等のデータを通信手段を介して半導体デバイスメーカまたはデザインハウスまたはその顧客に提供してサービスを行うデータベースセンタ40を設けたことを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

半導体デバイス製造部門の少なくともレビュー装置及びCD-SEMから通信手段を介して送信してくる欠陥若しくは欠陥候補の画像とその画像の特徴量とを少なくとも半導体デバイスIDを付与して蓄積して保存する記憶装置部と、 通信手段を介して問い合わせのある少なくとも半導体デバイスIDに対応する欠陥若しくは欠陥候補の画像の特徴量を基に前記半導体デバイスIDに関連する半導体デバイスに対応する欠陥若しくは欠陥候補の画像群を検索する検索エンジンとを備え、 該検索エンジンにて検索された関連する半導体デバイスに対応する欠陥若しくは欠陥候補の画像群のデータを通信手段を介して半導体デバイスメーカまたはデザインハウスまたはその顧客に提供してサービスを行うデータベースセンタを設けたことを特徴とする画像データのサービスシステム。

IPC (1)：

H01L21/66

FI (1)：

H01L21/66 Z

F-Term (5)：

4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106BA10 ,  4M106CA38 ,  4M106DH60