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J-GLOBAL ID：200903062500346591

感度向上型の光学測定装置

Inventor： デイビツド・エル・ウイレンボーグ ,  アラン・ロウゼンウエイグ ,  ジヨン・オプサル
Applicant, Patent owner： サーマ-ウエイブ・インク
Agent (1)： 山崎 行造 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992090233
Publication number (International publication number)：1993107035
Application date： Mar. 16, 1992
Publication date： Apr. 27, 1993
Summary：

【要約】[目的] 高解像度測定デバイス50の感度を増強する方法が開示されている。[構成] 本デバイスには、サンプル58の表面上にきちんと集束されているプローブ・ビーム54を発生させるレーザ52が含まれている。検波器66は、反射されたプローブ・ビームのパラメータを監視するために具備されている。本発明により、空間フィルタは集束されたスポットを越えたサンプルの表面上の区域から反射された検波器に達する光エネルギーの量を減少させるために具備されている。空間フィルタには、リレー・レンズ68と、レンズの集束面に置かれたブロッキング部材70とが含まれている。ブロッキング部材70には、集束されたスポットの中心から所定の距離を越えてサンプルの表面から反射された光をブロックするような寸法に作られたアパーチャ72が含まれている。この方法で、強く集束されたスポット内のサンプルの特性に対するより強い感度が達成される。

Claim (excerpt)：

サンプルの表面上に形成された薄膜層の光学特性を評価する測定装置は、プローブ・ビームを発生させるレーザ装置と、サンプルの表面上のスポットにプローブ・ビームを集束させる1次レンズ装置と、反射されたプローブ・ビームを測定してサンプルを評価する出力信号を発生させる検波装置と、検波装置の前面に置かれたリレー・レンズ装置と、前記検波装置と前記リレー・レンズ装置との間に置かれるブロック装置であり、かつリレー・レンズ装置の集束面において、前記ブロック装置は薄膜層の境界から反射する集束された光を送るような寸法のアパーチャを有し、またブロック散乱光は集束されたスポットの中央から所定の距離を越えたサンプルの表面から反射されるブロック装置とを有することを特徴とする測定装置。

IPC (2)：

G01B 11/06 ,  G01M 11/00