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J-GLOBAL ID:200903062522387089

テーブル駆動装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995285232
Publication number (International publication number):1997127276
Application date: Nov. 01, 1995
Publication date: May. 16, 1997
Summary:
【要約】【課題】 従来のテーブル駆動装置は、1本のボールねじ部を用いてテーブルの傾動を行っていたため、機械的に不安定であると共に駆動軸に直交する軸回りの剛性も十分でなかった。【解決手段】 本発明によるテーブル駆動装置は、テーブル(3)を1対のボールねじ部(8,9)で支持し、一方のボールねじ部(8)を駆動用とし、他方のボールねじ部(9)を案内用としているため、機械的な安定が良好で、駆動軸(4)の軸回りの剛性も十分に得ることができる構成である。
Claim (excerpt):
基台(1)に軸受(2)を介して傾動自在に設けられテーブル(3)を有する駆動軸(4)と、前記駆動軸(4)に接続された軸保持体(5)と、前記軸保持体(5)にベアリング(7)を介して回動自在に設けられモータ(11)により駆動されると共に前記基台(1)に接続された第1ボールねじ部(8)と、前記軸保持体(5)にベアリング(7)を介して回動自在に設けられ非駆動形の第2ボールねじ部(9)と、を備え、前記第1ボールねじ部(8)により前記テーブル(3)を傾動させ、前記第2ボールねじ部(9)は前記テーブル(3)の傾動を支持するように構成したことを特徴とするテーブル駆動装置。

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