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J-GLOBAL ID：200903062556591440

ダイヤモンド膜及びそのコーティング方法

Inventor： 柳生 博之
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 佐藤 成示 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996229167
Publication number (International publication number)：1998072287
Application date： Aug. 30, 1996
Publication date： Mar. 17, 1998
Summary：

【要約】【課題】 基材金属に十分に密着して形成されるようにする。【解決手段】 基材金属1 上に設けられた中間層を介してコーティングされたダイヤモンド膜において、中間層は、基材金属1 と同一組成の元素を含有したダイヤモンド膜又はダイヤモンド状炭素膜からなる構成にしている。従って、基材金属1 と同一組成の元素を含有したダイヤモンド膜又はダイヤモンド状炭素膜は、その種類が多いために、適宜選択することによって、基材金属1 との相性、つまり熱膨張率、格子定数及び化学的結合性を共に満たして基材金属1 と十分な密着性を有する中間層を構成することができる。

Claim (excerpt)：

基材金属上に設けられた中間層を介してコーティングされたダイヤモンド膜において、前記中間層は、前記基材金属と同一組成の元素を含有したダイヤモンド膜又はダイヤモンド状炭素膜からなることを特徴とするダイヤモンド膜。

IPC (5)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/18 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/46 ,  C23C 16/50

FI (6)：

C30B 29/04 B ,  C30B 29/04 W ,  C23C 16/18 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/46 ,  C23C 16/50