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J-GLOBAL ID：200903062560230029

ポジ型感放射線性樹脂組成物

Inventor：
清水 大輔

About 清水 大輔

, 
松村 信司

About 松村 信司

, 
甲斐 敏之

About 甲斐 敏之


Applicant, Patent owner：
JSR株式会社

About JSR株式会社


Agent (1)： 和気 操
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006027413
Publication number (International publication number)：2007206551
Application date： Feb. 03, 2006
Publication date： Aug. 16, 2007
Summary：
【課題】EB、X線、EUV用として、ラインラフネス、エッチング耐性、感度、解像度に優れ、微細パターンを高精度にかつ安定して形成することができる。【解決手段】アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂(A)と、感放射線性酸発生剤(B)とを含む組成物をアルコール化合物を含む溶媒に溶解してなり、酸解離性基含有樹脂(A)が、繰り返し単位(i)および繰り返し単位(ii)を含み、アルコール化合物が沸点190°C以上の炭素数3〜20の1〜4価飽和アルコール化合物であり、繰り返し単位(i)はビニルフェノール(ヒドロキシスチレン)単位で表され、繰り返し単位(ii)は、酸解離性基を含む繰り返し単位である。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ易溶性となる酸解離性基含有樹脂(A)と、感放射線性酸発生剤(B)とを含む組成物をアルコール化合物を含む溶媒に溶解してなるポジ型感放射線性樹脂組成物であって、 前記酸解離性基含有樹脂(A)が、以下に示す繰り返し単位(i)および繰り返し単位(ii)を含み、前記アルコール化合物が常圧760mmHgにおける沸点190°C以上の炭素数3〜20の1〜4価飽和アルコール化合物であることを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。 繰り返し単位(i);下記式(1)で表される繰り返し単位
IPC (4)：
G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C08F 212/14
FI (4)：
G03F7/039 601 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08F212/14
F-Term (41)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  4J100AB02R ,  4J100AB03R ,  4J100AB04R ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AB07R ,  4J100AL03Q ,  4J100AL08Q ,  4J100AL62Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA04Q ,  4J100BA05Q ,  4J100BA05R ,  4J100BA06Q ,  4J100BA14Q ,  4J100BA41Q ,  4J100BA53Q ,  4J100BB03Q ,  4J100BC02Q ,  4J100BC03Q ,  4J100BC09Q ,  4J100BC43Q ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (9)
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Cited by examiner (4)
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