AES分析におけるドリフト補正方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：梅田勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991339251
Publication number (International publication number)：1993172765
Application date： Dec. 24, 1991
Publication date： Jul. 09, 1993
Summary：

【要約】【構成】 AES分析時に資料表面上に走査されている電子ビームにより発生する2次電子を検出し、この2次電子の量の走査面上の分布を数値化することを繰り返すことと、計算機を用いて分析開始時の分布と各分析時の分布とを比較し走査面の変位を計算すること、及び、この変位量に従って電子ビームの走査位置を試料の最初の走査領域に移動することを特徴とする。【効果】 AES分析中の電子ビームの走査領域のドリフト量は極めて小さく、微小領域の分析を可能とする。

Claim (excerpt)：

電子ビーム試料表面で走査する場合にAES電子と同時に発生している2次電子を定期的に捕獲し、この走査面を小さな領域に分割した各領域の2次電子量を数値化することと、この数値化した2次電子量の分布の初期値と最新値との間のずれ量を算出し、初期の分布に一致するように電子ビーム位置を補正することとを特徴とする、AES分析におけるドリフト補正方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭63-202834
特開昭62-229646
特開昭63-190236

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