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J-GLOBAL ID：200903062619033265

スペーサ散布方法及びその装置

Inventor： 佐々木 健
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 菅野 中
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992213704
Publication number (International publication number)：1994034982
Application date： Jul. 17, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 スペーサ材粒子の散布において、スペーサ材粒子が凝集することを防止する。【構成】 スペーサ材粒子をチャンバ内に噴出させるためのガスをイオン化装置3にて帯電させることで、散布装置の配管系とスペーサ材粒子が同一極性に帯電する。これによりスペーサ材粒子間に電気的な斥力が働き凝集が起こりにくくなる。また配管内壁にスペーサ材粒子が付着しにくいので、更に凝集塊が発生しにくい。

Claim (excerpt)：

絶縁体からなる直径数ミクロン〜10数ミクロンの球状または円柱状のスペーサ材粒子を液晶表示素子基板上に散布するスペーサ散布方法であって、スペーサ材粒子は、ガスで圧送し、これをノズルより噴射させて散布するものであり、スペーサ材粒子とガスとは、同一極性に帯電させることを特徴とするスペーサ散布方法。