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J-GLOBAL ID：200903062668058885

マイクロメカニズムの構成部材

Inventor： シュテファン ピンター ,  フランク フィッシャー ,  アーノルト ルンプ
Applicant, Patent owner： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング ,  マックス-プランク-ゲゼルシャフト・ツア・フェルデルング・デア・ヴィッセンシャフテン・エー・ファオ
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001324089
Publication number (International publication number)：2002207048
Application date： Oct. 22, 2001
Publication date： Jul. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】 ダブルU字形ばね4によってばね弾性的に支承されて外部加速で変位可能、即ち振動可能な質量装置1を備えるマイクロメカニズムの構成部材、殊に加速度センサー若しくは回転量センサー又はマイクロマシンにおいて、構成部分若しくは構成素子間の過度な変位による付着若しくは永続的な変位を避ける。【解決手段】 ダブルU字形ばねの変位の制限のための少なくとも1つのネップ状ストッパN,N′が所定の箇所、例えば最大変位の生じる箇所に設けられている。

Claim (excerpt)：

マイクロメカニズムの構成部材であって、少なくとも1つのダブルU字形ばね(4)によってばね弾性的に支承された振動可能な質量装置(1)を備えており、質量装置が外部からの加速によって少なくとも1つの方向に変位可能である形式のものにおいて、ダブルU字形ばね(4)の変位の制限のための少なくとも1つのネップ状ストッパ(N,N′)が設けられていることを特徴とするマイクロメカニズムの構成部材。

IPC (5)：

G01P 15/125 ,  B81B 3/00 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (5)：

G01P 15/125 ,  B81B 3/00 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z

F-Term (13)：

2F105AA02 ,  2F105BB04 ,  2F105BB07 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112CA04 ,  4M112CA11 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112FA08