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J-GLOBAL ID：200903062670517579

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 山近 幹雄 ,  大田 利幸 ,  辻 昭
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994259756
Publication number (International publication number)：1996101507
Application date： Sep. 30, 1994
Publication date： Apr. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 特に解像度およびパターン形状が優れるとともに、感度、現像性、プロセス安定性等にも優れ、しかもコントラスト、耐熱性等も良好な化学増幅型ポジ型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 感放射線性樹脂組成物は、p-イソプロペニルフェノールと2-テトラヒドロピラニルアクリレートとの共重合体で代表される共重合体(A)および感放射線性酸発生剤(B)を含有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)で表される繰返し単位と下記一般式(2)で表される繰返し単位とを有する共重合体(A)および感放射線性酸発生剤(B)を含有する感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R1は水素原子またはメチル基を示し、R2は水素原子、アルキル基、アルコキシル基、アリール基、アリールオキシ基またはアラルキル基を示し、複数存在するR2は同一でも異なってもよく、nは1以上の整数、mは0または1以上の整数であり、n+m≦5を満足する。〕【化2】〔一般式(2)において、A は2価の酸素原子または2価の硫黄原子を示し、R3は水素原子またはメチル基を示し、R4、R5、R6、R7およびR8は相互に同一でも異なってもよく、水素原子、アルキル基、アルコキシル基、アルキルチオ基、アリール基、アリールオキシ基、アラルキル基またはアラルキルオキシ基を示し、R7とR8とは互いに結合していてもよい。〕

IPC (3)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027