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J-GLOBAL ID：200903062686573436

ポジ型感光性組成物

Inventor： 浦野 年由 ,  新実 高明 ,  塚本 美智徳 ,  落合 為一
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995206066
Publication number (International publication number)：1997054436
Application date： Aug. 11, 1995
Publication date： Feb. 25, 1997
Summary：

【要約】【課題】 本発明の課題は、ディープUV領域において高い感度を有し、かつ、露光後の感度及び画質の経時変化が少なく、さらに、定在波の発生がないポジ型感光性組成物を提供することである。【解決手段】 上記課題は、下記共重合体(A)、下記化合物(B)及び光酸発生剤を含有するポジ型感光性組成物によって達せられる。(A)下記一般式(1)で表される構成単位及び下記一般式(2)で表される構成単位を含有する共重合体。【化1】(B)下記一般式(3)で表されるフェノール化合物と2,3-ジヒドロピランの付加物。【化2】(式中、R1 、R2 、R3 及びR4 は、各々独立にハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基またはアラルキル基であり、a及びbは各々独立に0〜4の範囲の正数である。また、R3 及びR4 は、これらを含むフルオレン環を形成していてもよい。)

Claim (excerpt)：

下記共重合体(A)、下記化合物(B)及び光酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。(A)下記一般式(1)で表される構成単位及び下記一般式(2)で表される構成単位を含有する共重合体。【化1】(B)下記一般式(3)で表されるフェノール化合物と2,3-ジヒドロピランの付加物。【化2】(式中、R1 、R2 、R3 及びR4 は、各々独立にハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基またはアラルキル基であり、a及びbは各々独立に0〜4の範囲の正数である。また、R3 及びR4 は、これらを含むフルオレン環を形成していてもよい。)

IPC (4)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/30 502 R