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J-GLOBAL ID：200903062687207611
クラスターイオンビーム発生装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
光田 敦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000011770
Publication number (International publication number)：2001200359
Application date： Jan. 20, 2000
Publication date： Jul. 24, 2001
Summary：
【要約】【課題】 インピーダンス不整合が生じることなく、効率的にクラスターイオンビームを発生させることができるクラスターイオンビーム発生装置を提供する。【解決手段】 夫々が同軸的に配設されたコア形状の内外支持部材6、7により夫々支持されたターゲット10とアノード9’間で放電することによりプラズマを発生し、プラズマイオンをボロンターゲット10にスパッタし、中性ボロンBやB+を発生させ、成長槽3内で冷却しボロンクラスターイオンビームとし、成長槽3内でテーパ状案内面29から絞り装置22を通過して、半導体ウェーハ5に注入する。
Claim (excerpt)：
スパッタ用ガスに放電してプラズマを発生させ、該プラズマのイオンにより非金属物質又は金属炭化物のターゲットをスパッタして注入するイオン源を発生するマグネトロン放電部と、上記注入するイオン源からクラスターイオンビームを成長させる筒型の成長槽と、を有するクラスターイオンビーム発生装置であって、上記マグネトロン放電部は、互いに逆極性で同軸的に配設された永久磁石と、該永久磁石の前方に配設され、導電材からなる内側支持部材と、該内側支持部材により支持されたターゲットと、該ターゲットの周囲に配設された導電材からなる外側支持部材と、該外側支持部材と一体又は別体で形成されたアノードとから成り、上記内側支持部材は、コーン形状をしており、その大径部は上記ターゲットを支持しかつ電気的に接続するとともに、その小径部はRF電源に接続されており、上記外側支持部材は、上記内側支持部材の外側に同軸的に配設され、コーン形状をしており、その大径部に、上記アノードが一体で形成され、又は別体で形成されて支持されかつ電気的に接続されているとともに、その小径部は接地されており、上記成長槽は、周囲から冷却され、その先端壁には、クラスターイオンビーム通過用の開口が形成されていることを特徴とするクラスターイオンビーム発生装置。
IPC (3)：
C23C 14/48
, G21K 5/04
, H01L 21/265 603
C23C 14/48 Z
, G21K 5/04 A
, H01L 21/265 603 A
