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J-GLOBAL ID：200903062697134264

ポリイミドのエッチング液およびその使用方法

Inventor： 濱田 直之 ,  諸井 長広 ,  丸田 順道
Applicant, Patent owner： セントラル硝子株式会社
Agent (1)： 坂本 栄一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993020971
Publication number (International publication number)：1994234870
Application date： Feb. 09, 1993
Publication date： Aug. 23, 1994
Summary：

【要約】【目的】 剛直な主鎖構造を持つ低熱膨張性ポリイミドあるいは含フッ素ポリイミドを、加工深さ20μm以上の実用的な湿式加工を可能とする新規なエッチング液およびその使用方法を提供することにある。【構成】 5〜20wt%の水酸化第四アンモニウムと10〜60wt%のアミノアルコールと20〜80wt%のアルコールを必須成分とするエッチング液およびその使用方法。

Claim (excerpt)：

5〜20wt%の水酸化第四アンモニウムと10〜60wt%のアミノアルコールと20〜80wt%のアルコールを必須成分とすることを特徴とするポリイミドのエッチング液。

IPC (2)：

C08J 7/00 CFG ,  C08L 79:08