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J-GLOBAL ID：200903062698496690

フローセンサおよびその製造方法

Inventor： 平田 陽三
Applicant, Patent owner： トキコ株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992282042
Publication number (International publication number)：1994132546
Application date： Oct. 20, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：

【要約】【構成】 基板1と、該基板1の表面1aに形成された絶縁層2と、該絶縁層2の表面に形成された流量検出回路導体3,4,5とを有し、基板1の、流量検出回路導体3,4,5の裏側に位置する部分が取り除かれることにより薄膜部9が形成されてなるものにおいて、薄膜部9に補強用の梁部10を設けてなる。【効果】 薄膜部9に設けられた梁部10によって、流速感度の大きな低下を招くことなく薄膜部9の機械的強度が向上されることになるため、強い流体の流れや衝突があっても破損を生じることがなくなり、信頼性が大幅に向上しかつ歩留りが向上する。

Claim (excerpt)：

基板と、該基板の表面に形成された絶縁層と、該絶縁層の表面に形成された流量検出回路導体とを有し、前記基板の、前記流量検出回路導体の裏側に位置する部分が取り除かれることにより薄膜部が形成されてなるフローセンサにおいて、前記薄膜部に補強用の梁部を設けてなることを特徴とするフローセンサ。

IPC (3)：

H01L 29/84 ,  G01F 1/68 ,  G01P 5/12