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J-GLOBAL ID：200903062704403608

軽元素を主体とする試料観察用走査透過型電子顕微鏡

Inventor： 美濃部 正夫 ,  白神 昇
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社
Agent (1)： 諸石 光▲ひろ▼ (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991253111
Publication number (International publication number)：1993062636
Application date： Sep. 03, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：

【要約】【構成】電界放射型電子銃を入射電子線源として用い、その定格加速電圧が40KV以下であることを特徴とする軽元素を主体とする試料観察用走査透過型電子顕微鏡。【効果】本発明によれば?@コントラストが大きいため、ポリマーアロイのように密度差の小さい多相系材料を高精細に観察することができ、?A生物、高分子等の試料の観察中でも試料の損傷が少なく安定して測定が可能であり、?B測定による試料のチャージアップが少ないので合成高分子のような絶縁体でもオージェ電子分光装置等による元素分布像の測定における可視化装置として極めて有用である、等多大なメリットを有する。

Claim (excerpt)：

電界放射型電子銃を入射電子線源として用い、その定格加速電圧が40KV以下であることを特徴とする軽元素を主体とする試料観察用走査透過型電子顕微鏡。