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J-GLOBAL ID:200903062733798050

液滴モニタ装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 柳田 征史 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991205787
Publication number (International publication number):1993045354
Application date: Aug. 16, 1991
Publication date: Feb. 23, 1993
Summary:
【要約】【目的】 点着装置のノズル先端における液滴の大きさを監視する。【構成】 点着すべき液滴4を形成した点着装置のノズル3の先端部に側方から光を投射し、ノズルの先端縁より下方に形成された液滴4の全体を含む一定の大きさの視野6aを限定して、この視野内の光を受光素子8により受光し、この受光素子8の出力をCPU10でしきい値と比較して液滴4の大きさを基準の大きさと比較する。比較の結果、受光素子8の出力が、CPU10で記憶されているしきい値より大きいとき、CPU10は警告信号を発生する。
Claim (excerpt):
点着すべき液滴を形成した点着装置のノズル先端部に側方から光を投射する光投射手段、該光を受光する受光素子、該受光素子に入射する前記光を前記ノズルの先端縁より下方に形成された液滴を含む一定の大きさの視野に限定する手段、および前記受光素子の出力をしきい値と比較する比較手段とから成る液滴モニタ装置。
IPC (2):
G01N 33/48 ,  G01B 11/28

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