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J-GLOBAL ID：200903062740021053

光源装置及び光照射装置

Inventor： 河井 斉 ,  村松 研一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 立石 篤司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001162004
Publication number (International publication number)：2002350914
Application date： May. 30, 2001
Publication date： Dec. 04, 2002
Summary：

【要約】【課題】 210nm以下の波長を有する光を、簡単な構成で、効率良く発生する。【解決手段】 波長1050nm以下の光を基本波として、非線形光学素子181,182,183を順次介させて、第2高調波発生又は和周波発生により段階的に波長変換し、基本波の5倍波(波長210nm以下)を発生する。この結果、非線形光学効果による第2高調波発生や和周波発生を利用して、波長変換の段数を3段とし、かつ、和周波発生段の数を最小の1段として、波長が210nm以下の紫外光を発生することができる。

Claim (excerpt)：

210nm以下である第1の波長の紫外光を発生する光源装置であって、1050nm以下である第2の波長の赤外域又は可視域の光を発生する基本波発生部と;前記基本波発生部から射出された光を基本波として、前記第1の波長を有する前記基本波の5倍波を発生する波長変換部と;を備える光源装置。

IPC (6)：

G02F 1/37 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/06 ,  H01S 3/10

FI (6)：

G02F 1/37 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 505 ,  H01S 3/06 B ,  H01S 3/10 Z ,  H01L 21/30 515 A

F-Term (29)：

2H052BA02 ,  2H052BA06 ,  2H052BA12 ,  2H097CA17 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002BA03 ,  2K002BA04 ,  2K002CA02 ,  2K002CA03 ,  2K002EA07 ,  2K002FA27 ,  2K002GA04 ,  2K002HA20 ,  5F046CA03 ,  5F046CB01 ,  5F046CB22 ,  5F072AB07 ,  5F072AB13 ,  5F072AB20 ,  5F072AK06 ,  5F072FF09 ,  5F072HH06 ,  5F072JJ05 ,  5F072KK12 ,  5F072PP07 ,  5F072YY09