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J-GLOBAL ID：200903062744285721

プローブカード

Inventor： 芝山 真理
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 早瀬 憲一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991340432
Publication number (International publication number)：1993152389
Application date： Nov. 27, 1991
Publication date： Jun. 18, 1993
Summary：

【要約】【目的】 プローブカードの測定精度を高める。【構成】 プローブカード基板1に、発熱体5bと温度センサー6bを設け、プローブカードの温度を試料の測定条件温度に設定するようにするとともに、予め、温度変化よるプローブ針先の位置変動を見込んでプローブ針2をプローブカード基板1に取りつけておく。【効果】 プローブ針のプローブカード基板に対する位置が正確に制御されるとともに、試料の温度が安定し、高精度の測定が可能となる。

Claim (excerpt)：

プローブ針を試料に接触させることにより、所定の測定条件温度下での試料の特性評価を行うプローブカードにおいて、プローブカードの温度を前記試料の測定条件温度と同じ温度に設定する温度設定手段と、上記設定温度において、その先端が所定位置に配置されるようにプローブカード基板に固定されたプローブ針とを備えたことを特徴とするプローブカード。

IPC (2)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26