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J-GLOBAL ID：200903062772699167

自動光学検査のためのシステムおよび方法

Inventor： エドワード ピー、ルーク ,  デイミーン ダブリュー、ピー、クリーヴィン ,  ロバート アール、リーツ
Applicant, Patent owner： アドバンスト インターコネクション テクノロジー インコーポレイテッド
Agent (1)： 新実 健郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993287402
Publication number (International publication number)：1995077496
Application date： Oct. 22, 1993
Publication date： Mar. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】 回路基板上の欠陥を検出するための光学検査システムを提供する。【構成】 回路基板18上のホールサイトのイメージを受け取るビデオカメラ14が準備される。カメラは各イメージを電気的ビデオ信号に変換する。フレームグラッバー12は電気的ビデオ信号を複数のピクセルに変換し、各ピクセルに含まれる色要素値を表す情報を記憶する。パネル特徴検出器はピクセルの色要素値を受け取り、この値が配線の特徴に対応するとき配線表示を与える。欠陥検出回路は配線特徴検出器からホールサイトに関係する予め決定されるピクセルに対応する配線表示を受け、回路基板上の欠陥を検出する。

Claim (excerpt)：

基板上に複数の配線がなされた回路基板のホールサイトにおける欠陥を検出するための光学検査システムであって、前記回路基板上の望まれたホールサイトのイメージを受け取り、前記受け取ったイメージのそれぞれを電気的ビデオ信号に変換するビデオカメラと、前記ビデオカメラからの前記電気的ビデオ信号を複数のピクセルに変換し、前記ピクセルのそれぞれに含まれた色要素値を表す情報を記憶するフレームグラッバーと、前記フレームグラッバーから分析されるべきピクセルの前記色要素値を受け取り、前記ピクセルの前記色要素値が配線の特徴に対応するとき、配線表示を与えるパネル特徴検出器と、分析されるべきホールサイトに関係する予め決定されるピクセルに対応する色要素値を前記パネル特徴検出器に転送すべく、前記フレームグラッバーにコマンド信号を与えるピクセル検索コントローラと、前記パネル特徴検出器から、前記ホールサイトに関係する前記予め決定されるピクセルに対応する前記配線表示を受け取り、前記ホールサイトにドリルによってホールが形成されたときに開回路が生じるかどうかを検出する開回路検出回路とを有していることを特徴とするシステム。

IPC (5)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G06T 7/00 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/34 512