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J-GLOBAL ID：200903062786225885
マス型フィルタ構造による固体撮像素子及び製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996320024
Publication number (International publication number)：1998163462
Application date： Nov. 29, 1996
Publication date： Jun. 19, 1998
Summary：
【要約】【課題】 感度ムラや画像ムラを低減し、かつ高感度で小型化可能な固体撮像素子及び製造方法を提供する。【解決手段】 CCDを含む固体撮像素子において受光部のフォトシールド(遮光膜)8上層部に、ユニットセル区画ごとに格子状のマス型に形成されたメタル薄膜11を備え、各マス型メタル薄膜11の内部に各カラーフィルタ13を配設し、さらに上層に各マイクロレンズ14を形成させる。
Claim (excerpt)：
CCDを含む固体撮像素子において受光部のフォトシールド(遮光膜)上層部に、ユニットセル区画ごとに格子状のマス型に形成されたメタル薄膜を備え、前記マス型メタル薄膜の内部にカラーフィルタを配設したことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 27/14 D
, H04N 5/335 V
