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J-GLOBAL ID：200903062808573246

熱依存性検出器および製造方法

Inventor： 間中 順二 ,  高野 重樹 ,  永井 一寿
Applicant, Patent owner： リコー精器株式会社
Agent (1)： 高野 明近
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994269319
Publication number (International publication number)：1996128982
Application date： Nov. 02, 1994
Publication date： May. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】 正確な雰囲気温度で検出信号が得られる熱依存性検出器とし、これを歩留りよく作る。【構成】 (100)面のSi基板2の絶縁膜3上に、フレームへの固着部2aから離間した位置に、異方性エッチングによる(111)面で区切られた空洞部11を設けて、基板2のない熱依存性検出素子4と、該熱依存性検出素子4を保護するための保護外框13とを作る。保護外框13には、切り離し溝12が設けられ、熱依存性検出素子4と保護外框13の加工が完了した基板2をフレームに固着後、保護外框13を切り離し、絶縁膜3上に抵抗パターン5を有する熱依存性検出素子4とし熱容量の小さい、応答性が優れ、フレームからの熱伝導影響の小さい熱依存性検出器とする。

Claim (excerpt)：

表面に絶縁膜を有する基板と、該基板を一端側で固着支持するフレームと、前記絶縁膜上に設けられた被測定対象の物理量を検出するための熱依存性検出素子を有し、該熱依存性検出素子は、前記フレームに固着された前記基板の自由端側に設けられ、該熱依存性検出素子が設けられた部分には前記基板を有しないようにしたことを特徴とする熱依存性検出器。

IPC (7)：

G01N 27/18 ,  G01D 21/00 ,  G01J 1/02 ,  G01K 7/16 ,  G01N 25/64 ,  G01P 5/10 ,  G01P 15/12