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J-GLOBAL ID:200903062813467993

ワイヤボンダ用超音波ホ-ン

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992178216
Publication number (International publication number):1994021163
Application date: Jul. 06, 1992
Publication date: Jan. 28, 1994
Summary:
【要約】【目的】複雑な調整を要することなく容易に取付けることができると共に、安定した超音波振動特性を有するワイヤボンダ用超音波ホ-ンを提供する。【構成】超音波ホ-ンは少なくともフランジ3を有するホ-ン部とホルダ8とか構成される。フランジ3は直径方向にガイドする直径方向ガイド面9と、軸方向にガイドする軸方向ガイド面10及び回転方向にガイドする回転方向ガイド面11とを有している。このような形状のフランジ3を有するホ-ン部2はホルダ8へ、ホルダ8に設けられたピン13に回転方向ガイド面11を合わせるようにフランジ3をホルダ8にはめ込み、複数個の取付け穴12にボルト14等により固定される。
Claim (excerpt):
ボンディングツ-ルを有するホ-ン部と、ホルダに取付けられ振動板を介して上記ホ-ン部を支持するフランジ構造とを有するホ-ン部とを具備するワイヤボンダ用超音波ホ-ンにおいて、上記フランジは、上記ホ-ン部を上記ホルダに取り付ける際の直径方向、軸方向及び回転方向における位置決めとなるガイド面それぞれ有することを特徴とするワイヤボンダ用超音波ホ-ン。

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