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J-GLOBAL ID：200903062834458560

ガスセンサ

Inventor： 内田 光宣 ,  緒方 逸平 ,  牧野 太輔
Applicant, Patent owner： 株式会社日本自動車部品総合研究所
Agent (1)： 青木 朗 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992113461
Publication number (International publication number)：1993312707
Application date： May. 06, 1992
Publication date： Nov. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 圧電振動体を用いたガスセンサであって、水蒸気に対する感度が低く、炭化水素ガスに対する選択性が高いガス吸着膜材料を持つガスセンサを提供する。【構成】 圧電振動体1上にガス吸着膜2として、窒素原子、炭素原子及びホウ素原子の内の少なくとも1種を含む無機材料であって酸素原子が20atom%以下であるもの、又はフッ素を主な構成元素とするフッ素系材料を電極を介して形成してなるガスセンサ。

Claim (excerpt)：

圧電振動体上にガス吸着膜として、窒素原子、炭素原子及びホウ素原子の内の少なくとも1種を含む無機材料であって酸素原子が20atom%以下であるもの、又はフッ素を主な構成元素とするフッ素系材料を電極を介して形成してなることを特徴とするガスセンサ。