位相差分布測定装置

Inventor：
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：野口繁雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008132360
Publication number (International publication number)：2009281787
Application date： May. 20, 2008
Publication date： Dec. 03, 2009
Summary：

【課題】広範囲にわたる位相差変化がある被測定物の位相差分布を測定する。【解決手段】平行ニコルの偏光子・検光子とイメージング分光器を備えて被測定物の二次元の透過光分光スペクトルを検出できる位相差測定部を用い、被測定物がない状態での偏光子と検光子による偏光方位が0°と45°のときの透過光分光スペクトルI0(0),I0(45)と、被測定物を位相差測定部に対して相対的に移動させたときの偏光子と検光子による偏光方位が0°と45°のときの被測定物上の位置ごとの透過光分光スペクトルI(0),I(45)とから被測定物上の各位置での合算スペクトル実測値IT’(=I(0)/I0(0)+I(45)/I0(45))を算出し、位相差の異なる複数の合算スペクトルIT(=(C+3)/2)計算値との比較を被測定物上の各位置で行ってその差が最小になるITに該当する位相差を各位置の位相差Rm(λ)とする。【選択図】図10

Claim (excerpt)：

多波長成分を含む測定光が被測定物に偏光子を通して照射され、被測定物を透過した測定光が検光子を通して分光器に入射して透過光分光スペクトルが測定される位相差測定部であって、被測定物を該位相差測定部に対して相対的に移動させる移動機構を備え、前記偏光子及び検光子は平行ニコルの状態を維持して基準方位に対する偏光方位が少なくとも0°と45°の間で回転可能に支持されており、前記分光器は分散素子と二次元検出器を備えて被測定物の相対的移動方向に直交する一直線上の測定光を取り込み分光して透過光分光スペクトルを検出するイメージング分光器である位相差測定部と、前記位相差測定部で測定された透過光分光スペクトルから被測定物の位相差分布を少なくとも算出する演算処理部と、を備え、前記演算処理部は、位相差を異ならせて算出された複数の合算スペクトルIT(=(C+3)/2)(ただし、C=cos(2πR(λ)/λである。)を保持する分光スペクトル保持部と、前記位相差測定部において被測定物がない状態での前記偏光子と検光子による偏光方位が0°と45°のときの前記一直線上の位置ごとのそれぞれの透過光分光スペクトルI0(0),I0(45)と、被測定物を該位相差測定部に対して相対的に移動させたときの前記偏光子と検光子による偏光方位が0°と45°のときの被測定物上の位置ごとのそれぞれの透過光分光スペクトルI(0),I(45)とから被測定物上の各位置での合算スペクトル実測値IT’(ただし、IT’=I(0)/I0(0)+I(45)/I0(45)である。)を算出する合算スペクトル算出部と、被測定物上の位置ごとに、前記分光スペクトル保持部に保持された計算値ITと前記合算スペクトル算出部で算出された実測値IT’の差が最小になるITを求めてそのITに該当する位相差R(λ)をその被測定物の各位置での位相差Rm(λ)とすることにより、前記一直線と被測定物の相対的移動距離とから定まる面積内での被測定物の位相差分布を求める位相差算出部を備えている位相差分布測定装置。

IPC (3)：

G01N 21/23 , G01N 21/27 , G01M 11/00

FI (4)：

G01N21/23 , G01N21/27 A , G01M11/00 T , G01M11/00 L

F-Term (19)：

2G059AA02 , 2G059BB08 , 2G059BB10 , 2G059BB15 , 2G059EE01 , 2G059EE05 , 2G059EE12 , 2G059FF01 , 2G059FF03 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059JJ05 , 2G059JJ19 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM10 , 2G086EE02 , 2G086EE12 , 2G086FF05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

ディスク基板の内部応力状態の測定法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-035820 Applicant：富士電機株式会社

Return to Previous Page