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J-GLOBAL ID：200903062845023817
走査型プロ-ブ顕微鏡用カンチレバ-
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999080032
Publication number (International publication number)：1999337562
Application date： Mar. 24, 1999
Publication date： Dec. 10, 1999
Summary：
【要約】【課題】先端の尖鋭度が高い探針部を備えたカンチレバーを提供する。【解決手段】カンチレバーの探針部138は、三角錐形状の先端部を有しており、先端部を規定する3つの面のうちの2つはシリコンの(111)面と(100)面であり、残りの支持部側の面144は人為的な加工により形成される。従って、探針部138の先端の曲率半径は、支持部側の面144を形成する工程に起因する。この面144は、探針部138の予備成形部である探針ベース部を形成するための探針形成部を形成する際ののエッチング面によって定められる。探針形成部のエッチング面は、フォトリソグラフィとドライエッチングで形成され、レバー部140の面に平行な<110>を含む面に対する傾きθは、カンチレバーの製作者が任意に選べる。従って、傾きθに大きい値を選ぶことによって、アスペクト比の高い探針部が形成される。
Claim (excerpt)：
シリコン製の探針部を有するレバー部を備えた走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーであり、探針部は三角錐形状もしくは略三角錐形状を有しており、その側面の2つは結晶面で構成され、残る1つの側面は人為的な加工により形成される面で構成されている、走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
