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J-GLOBAL ID：200903062853545830

原子力顕微鏡用ピエゾ抵抗性片持ばり構造体

Inventor： トーマス アルブレクト ,  マルコ トルトメーゼ ,  ロバート バーレット
Applicant, Patent owner： ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ リーランド スタンフォード ジュニア ユニバーシティ
Agent (1)： 中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991346134
Publication number (International publication number)：1993196458
Application date： Dec. 27, 1991
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：

【要約】【目的】 組立および操作が容易な原子力顕微鏡用のピエゾ抵抗性片持ばり構造体を提供する。【構成】 片持ばりアーム(102)の自由端が撓むと、その台部に応力が生じ、この応力は片持ばりの台部のピエゾ抵抗体(160)の抵抗を撓みに比例して変化させる。ピエゾ抵抗体の抵抗を測定しかつアームの撓みに相当する信号を発生するために、抵抗測定回路(124)がピエゾ抵抗体と接続されている。この片持ばりは半導体基板(152)上に構成される。片持ばりアームの自由端の一部分には、ドーパントが添加されて、電気的に分離したU字形ピエゾ抵抗体(160)を構成する。ピエゾ抵抗体はゼロでないピエゾ抵抗係数を有する基板の軸線に平行な脚部(154、156)を有している。

Claim (excerpt)：

超小型片持ばり構造体において、固定端部および自由端部を有する片持ばりアームと、前記片持ばりアームの少なくとも固定端部内に埋め込まれたピエゾ抵抗性抵抗体とを備え、前記片持ばりアームの前記自由端部の撓みが前記ピエゾ抵抗性抵抗体の抵抗を前記片持ばりアームの撓みに比例して変化させるようになった超小型片持ばり構造体。

IPC (3)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28 ,  G01B 7/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭63-076483