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J-GLOBAL ID：200903062855357586

ノズル位置調整装置及びノズル位置調整方法

Inventor： 佐田 徹也 ,  篠崎 賢哉
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 大森 純一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001273856
Publication number (International publication number)：2003083676
Application date： Sep. 10, 2001
Publication date： Mar. 19, 2003
Summary：

【要約】【課題】 エアナイフノズルの位置調整を容易かつ正確に行うことができるノズル位置調整装置を提供すること。【解決手段】 所定の方向に搬送される基板Gの表裏両面上にそれぞれ配置され、基板Gに対しエアを噴出する少なくとも一対のエアナイフノズル53a及び53bと、両ノズル53a及び53bから噴出されたエアが基板Gに吹きつけられるときの音を検出するマイク70と、このマイク70の検出に基づいて、両ノズル53a及び53bの相対的な位置を調整する駆動部67及びこれを制御する制御部30とを具備する。これにより、作業員の目視によらず自動的に両ノズル53a及び53bの相対的位置を調整することができ、また、位置調整ミスを防止することができる。

Claim (excerpt)：

所定の方向に搬送される基板の表裏両面上にそれぞれ配置され、該基板に対しエアを噴出する少なくとも一対のノズルと、前記ノズルから噴出されたエアが前記搬送される基板に吹きつけられるときの音を検出するセンサと、前記センサの検出に基づいて、前記一対のノズルの相対的な位置を調整する調整手段とを具備することを特徴とするノズル位置調整装置。

IPC (4)：

F26B 15/00 ,  F26B 5/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 651

FI (4)：

F26B 15/00 C ,  F26B 5/00 ,  H01L 21/304 651 L ,  H01L 21/30 569 D

F-Term (15)：

3L113AA03 ,  3L113AB02 ,  3L113AC36 ,  3L113AC45 ,  3L113AC48 ,  3L113AC52 ,  3L113AC54 ,  3L113AC63 ,  3L113AC64 ,  3L113AC67 ,  3L113BA34 ,  3L113DA22 ,  3L113DA25 ,  5F046LA04 ,  5F046LA14