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J-GLOBAL ID：200903062860958555

ウエハ搬送装置

Inventor： 鈴川 弘樹 ,  夏堀 勝利
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991207270
Publication number (International publication number)：1993036815
Application date： Jul. 25, 1991
Publication date： Feb. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】異物挟持によるバキューム圧低下後の再動作時等におけるウエハ保持状態を確実に検出してウエハ破損を防止し安全性を高めたウエハ搬送装置を提供する。【構成】 ウエハ5を真空吸着して保持するハンド1と、該ハンド1のウエハ保持状態を検出する第1の検出手段4と、前記ハンド1上のウエハ5の有無を検出する第2の検出手段2とを具備する。

Claim (excerpt)：

ウエハを真空吸着して保持するハンドと、該ハンドのウエハ保持状態を検出する第1の検出手段と、前記ハンド上のウエハの有無を検出する第2の検出手段とを具備したウエハ搬送装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/66