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J-GLOBAL ID：200903062865802138

光偏向器

Inventor：
島田 康弘

About 島田 康弘

, 
加藤 貴久

About 加藤 貴久


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 加藤 一男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003415786
Publication number (International publication number)：2005173411
Application date： Dec. 12, 2003
Publication date： Jun. 30, 2005
Summary：
【課題】二軸それぞれの駆動信号間のクロストークを低減できるジンバル構造による二軸駆動光偏向器である。【解決手段】光偏向器は、可動ミラー1と、可動ミラー1を第1の支持部2により回転軸の回りで揺動可能に支持するジンバル3と、ジンバル3を第2の支持部4により可動ミラー1の回転軸と角度をなす回転軸の回りで揺動可能に支持するフレーム5と、ジンバル3の揺動方向とほぼ平行な面を持つジンバル3上の可動電極6と、可動電極6の面と対向し合うように配置された固定電極7と、可動電極6と固定電極7との間に働く静電力によりジンバル3を変位させる静電駆動手段と、電磁力により可動ミラー1を変位させる電磁駆動手段とを有する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
可動ミラーと、該可動ミラーを第1の支持部により回転軸の回りで揺動可能に支持するジンバルと、該ジンバルを第2の支持部により該可動ミラーの回転軸と角度をなす回転軸の回りで揺動可能に支持するフレームと、前記ジンバル上の該ジンバルの揺動方向とほぼ平行な面を持つ可動電極と、該可動電極の面と対向し合うように配置された固定電極と、可動電極と固定電極との間に働く静電力により該ジンバルを変位させる静電駆動手段と、電磁力により該可動ミラーを変位させる電磁駆動手段とを有することを特徴とする光偏向器。
IPC (6)：
G02B26/10 ,  B41J2/44 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08 ,  H04N1/036 ,  H04N1/113
FI (7)：
G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 C ,  B81B3/00 ,  G02B26/08 E ,  H04N1/036 Z ,  B41J3/00 D ,  H04N1/04 104Z
F-Term (34)：
2C362BA17 ,  2C362BA18 ,  2C362DA08 ,  2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC05 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB13 ,  2H045AB16 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73 ,  2H045BA13 ,  2H045DA02 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DB02 ,  5C051DB22 ,  5C051DB24 ,  5C051DB30 ,  5C051DC04 ,  5C051DC07 ,  5C051DE26 ,  5C072AA03 ,  5C072BA01 ,  5C072BA03 ,  5C072BA05 ,  5C072HA02 ,  5C072HA12 ,  5C072HB06 ,  5C072HB15 ,  5C072XA01 ,  5C072XA05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (12)
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