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J-GLOBAL ID：200903062890435980
薬液回収精製装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994208611
Publication number (International publication number)：1996071303
Application date： Sep. 01, 1994
Publication date： Mar. 19, 1996
Summary：
【要約】【目的】 半導体工場等で排出される硫酸、フッ化水素酸、硝酸、硫酸、イソプロピルアルコールおよびアンモニア水等の廃薬液を効率良く、かつ安全に精製し、再利用可能な薬液を製造する薬液回収精製装置の提供。【構成】 被処理薬液2aを収容し該液を加熱する加熱手段を備えた蒸留塔と、該蒸留塔から導出された各成分の蒸気を冷却凝縮する凝縮器4を備えた薬液回収精製装置であって、上記蒸留塔が、電気絶縁材料からなる蒸留塔本体2と、該蒸留塔本体2の外面に設けられた導電性の加熱用金属酸化膜(加熱手段)10bと、該加熱用金属酸化膜10bに接続された電源12とを備えたことを特徴とする薬液回収精製装置1。
Claim (excerpt)：
被処理薬液を収容し該液を加熱する加熱手段を備えた蒸留塔と、該蒸留塔から導出された各成分の蒸気を冷却凝縮する凝縮器を備えた薬液回収精製装置であって、上記蒸留塔が、電気絶縁材料からなる蒸留塔本体と、該蒸留塔本体の外面に設けられた導電性の金属酸化膜と、該金属酸化膜に接続された電源とを備えたことを特徴とする薬液回収精製装置。
IPC (3)：
B01D 3/00
, C01B 17/90
, C01B 21/46
