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J-GLOBAL ID：200903062896809440
ZnSeウエハの熱処理方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
内田 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995325777
Publication number (International publication number)：1997165300
Application date： Dec. 14, 1995
Publication date： Jun. 24, 1997
Summary：
【要約】【課題】 ZnSeウエハ表面に荒れを発生させることなく、ZnSeウエハ表面全域を均一に熱処理してZnSeの抵抗値を低下させる方法を提供しようとするものである。【解決手段】 ZnSeウエハを亜鉛溶融液中で熱処理する方法において、前記ZnSeウエハを上方又は下方に流れる亜鉛溶融液の定常対流の中で熱処理してZnSeウエハの電気抵抗を低下させる方法である。
Claim (excerpt)：
ZnSeウエハを亜鉛溶融液中で熱処理する方法において、前記ZnSeウエハを上方又は下方に流れる亜鉛溶融液の定常対流の中で熱処理することを特徴とするZnSeウエハの熱処理方法。
IPC (2)：
FI (2)：
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